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zygo轮廓仪

zygo轮廓仪

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 Nexview非接触式zygo轮廓仪可以用来测量所有表面,一一超光滑到非常粗糙的表面

Nexview都可以以30非接触的方式,以亚纳米的精度,以不同的视场范围检测样品表面的平面度 Flatness),粗度( (roughness.合阶高度( step height),膜层厚度(fims)坡度{ slope)等等参数,也可以对样品表面的微观结构,缺陷等等作详细的局部区域分析segment).测试的纵向范围从immー直到20n适用于所有的样品,从超光滑到粗糙,包括在结构上的斜坡,台阶及膜层,都可以

使用 netview以非接触的方式测量,可以按全新的S025178标准,以3D形式,计算粗楹度结果

使用全新一代软件.清晰详尽的输出窗口,更合理的布局.简单易懂的软件界面在硬件和软件上都整合了在震动环境下测量的抗振功能拥有强大的后期数据图像分析功能,可以作图像

局部统计分析,可以使用 Zygo Visionpro工

具作智能化图像分析

 

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