zygo白光干涉仪的原理及应用

一、zygo白光干涉仪原理：

光源发出的光通过扩张和矫直分为两束，一束通过测量表面反射，另一束通过参考镜反射。两束反射光聚集和干扰。显微镜通过测量干扰条纹的变化，将被测表面的外观特征转化为干扰条纹信号，以测量表面的三维外观。白光干扰三维外观仪是利用光学干扰原理开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束通过半反向半透镜分为两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。成像系统通过分光镜从两个表面反射的两束光合成一束CCD相机感光面形成两个叠加图像。由于两束光相互干扰，两个叠加图像在相机感光面上形成。CCD在相机的光敏表面可以观察到明暗之间的干扰条纹。干扰条纹的亮度取决于两束光的光程差。根据白光干扰条纹的亮度和干扰条纹的位置，分析被测样品的相对高度。

二、zygo白光干涉仪应用：

白光干涉仪用于测量三维微观形状。白光干涉仪可广泛应用于半导体制造和包装工艺检测，333C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS设备、航空航天、国防军工、科研机构等超精密加工行业。它可以测量各种物体的表面，从超光滑到粗糙，从低反射率到高反射率，从纳米到微米工件的粗糙度、平整度、微几何轮廓、曲率等。并提供依据ISOIASMEEUR/GBT国内外四大标准300多个D，3D作为评价标准的参数。